새로운 에너지 차량, 스마트 그리드, 광전지 풍력, 5G 통신 ... 산업 개발의 ​​중요한 영역이든 일일 전자 제품에서는 실리콘 카바이드 MOSFETS (금속 산화물 반도체 필드 효과 트랜지스터)와 같은 전력 전자 장치는 전력 전자 장치에서 분리 할 수 ​​없습니다. 시장 수요가 급증함에 따라 생산 비용을 더욱 줄이고 대규모 생산에 대한 수요를 더 잘 충족시키기 위해 8 인치 이상의 대형 실리콘 카바이드 기판이 기술 연구의 초점이되었습니다.

전기 장비는 "장비 + 프로세스 + 서비스"의 개념을 준수하고, 대규모의 개발 추세를 면밀히 주시하고, 독립적으로 실리콘 카바이드 하위 지위 재료를 처리하기위한 다수의 주요 장비를 개발하여 대규모 가공을위한 지능형 솔루션을 형성하여 국가의 복합 반도체 산업이 최적화 및 업그레이드 할 수 있도록 강화합니다.

챔피언 제품 통합 활용

생산 라인의 경쟁 우위는 어디에서 발생합니까? 비용 절감, 효율성 향상 및 생산 능력 확대가 핵심입니다.

산업 체인의 수요에 대한 정확한 이해를 바탕으로, 전기 기술 장비는 산업의 통증 지점에 직접 닿았으며, 크리스탈 잉곳 얇게 장비, 레이저 껍질을 벗기는 장비, 웨이퍼 얇게 장비 및 화학 기계적 연마 장비와 같은 경작 된 스타 제품으로 8 내지 12 인치 실리콘 카바이드 재료를 가공하기위한 지능형 솔루션을 형성합니다.

"우리는 4 개의 장치가 동시에 4 개의 장치를 가지고 있으며 지능형 통합 서비스를 제공하는 최초의 공급 업체입니다." 전자 과학 및 기술 전문가들은 "처리 효율 측면 에서이 솔루션은 단일 칩 처리 시간을 90 분에서 약 25 분으로 단축 할 수 있습니다. 비용 관리 측면에서 단일 칩 손실은 220 미크론에서 80 미크론으로 감소하며, 잉곳 당 절단 할 수있는 칩의 수는 기존 과정의 약 1.4 배입니다."

시너지 효과의 높은 지적 실현

실리콘 카바이드 기판 생산 라인에서, 전기 기술 장비의 지능형 가공 솔루션은 높은 자동화로 인해 장비 및 생산 라인의 완벽한 통합을 달성합니다.

재료 처리에서 전통적인 자동화 수준의 자동화 및 인력에 의존하는 초점과 비교하여,이 솔루션의 4 가지 핵심 장비는 높은 자동화 기능을 가지고 있으며, 생산 공정에서 로봇을 전송함으로써 기계 간의 재료 전송을 달성 할 수 있으며, 여러 프로세스의 공동 작업이 달성되어 대기 시간을 줄이고, 생산주기를 줄이고, 제품 생산주기를 향상시킬 수 있습니다.

동시에 자동화 된 생산 공정은 오류를 최소화하고 제품 수율 및 일관성을 보장 할 수 있습니다. 지원하는 풀 프로세스 데이터 녹화 및 분석은 또한 엔지니어에게 품질 문제의 근본 원인을 신속하게 찾아 내고 생산 공정을 지속적으로 개선하며 반도체 산업의 개발을위한 부가가치 공간을 제공하는 데 더 도움이됩니다.

새로운 프로세스는 생산 능력의 출시를 가속화합니다

"실리콘 카바이드 산업의 가격 전쟁은 이제 본격화되고 있습니다. 점점 더 치열한 경쟁 상황에 직면하여, 우리는 비효율적 인 가격 반전을 정체시키지 않고 고객에게 제조 비용을 줄이기위한 더 나은 솔루션을 제공하기 위해 새로운 기술과 새로운 프로세스를 개발하기 위해 노력하고 있습니다." 전문가들은 말했다.

이 솔루션에서 전기 기술 장비는 최신 레이저 필링 공정을 사용하여 크리스탈 슬라이싱을 사용합니다. 전통적인 가공 생산 라인에 사용되는 멀티 라인 절단 크리스탈 슬라이싱 기술과 비교하여, 레이저 필링 장비는 실리콘 카바이드 크리스탈 내부에 레이저를 집중시켜 균열 층을 유도하여 전통적인 멀티 라인 절단으로 인한 절단 라인 손실을 피할 수 있습니다. 조각 당 평균 절단 마모 손실은 약 40%에 불과하여 처리 비용을 크게 줄입니다. 현재이 솔루션은 시장으로부터 긍정적 인 피드백을 받았으며 테스트 및 검증을 위해 사용자 생산 라인에 들어 갔으며 많은 주요 회사와 의도 협력에 도달했습니다.

"이것은 장비, 프로세스 및 서비스의 포괄적 인 통합 및 업그레이드의 대담한 관행입니다." 전문가들은 미래에 전자 기술 장비는 솔루션을 계속 최적화하고 혁신 중심 개발을 준수하고 기술 혁신을 통해 산업 혁신을 촉진하며 우리 나라의 복합 반도체 산업의 고품질 개발에 기여할 것이라고 말했다.